二手 CANON / ANELVA ILD 4002 #9111382 待售

CANON/ANELVA ILD 4002是一種蝕刻器，又稱asher，用於半導體制造。這臺機器是一臺精密的、多級反應性離子蝕刻器（RIE）和幹式蝕刻器，旨在將介電和金屬蝕刻元件薄膜沈積在矽片上。具有高分辨率、細粒特性。機器由計算機控制，允許精確控制蝕刻參數。這有助於通過限制蝕刻損傷的擴散、開放孔隙度和底壁輪廓的程度來優化蝕刻結果。也可用於蝕刻側壁偏置為零的3D結構。CANON ILD 4002能夠處理3、5和8英寸晶圓。它的等離子體腔室配有二次電子抑制器（SES）和幹擾濾波器，以盡量減少臨界表面汙染的程度，這會影響蝕刻結構的性能。包括一個自動儀表設備，以確保不斷監測過程，並向計算機系統提供反饋。該裝置還設有壓力控制調節器和石英晶體微天平，用於精確蝕刻。機器獨特的設計減少了清潔步驟所需的時間,並允許輕松維護。這臺機器得到了進一步的增強，它采用了高靈敏度的熱控制散熱器，可幫助緊貼晶片。ANELVA ILD 4002也經過特別設計，以確保最大安全。它的安全系統包括氙氣霧化器、緊急情況下的安全控制信號以及幾個安全傳感器。排氣過濾器保持顆粒水平遠低於閾值限制，以確保安全的工作環境。總體而言，ILD 4002是一種最先進的蝕刻工具。它能夠為日益復雜的微制造過程產生緊密的小特性。它具有多種安全和技術特點，使其成為半導體行業最受歡迎的蝕刻系統之一。