二手 CANON / ANELVA ILD 4003M #9111256 待售

CANON/ANELVA ILD 4003M 蝕刻器/asher是一種適用於多種工業微制造應用的高性能幹蝕刻設備。它設計用於各種材料的微結構和微加工，包括矽、薄膜等。該系統使用反應性離子蝕刻（RIE）來創建高長寬比的微結構。CANON ILD 4003M具有較長的生命周期、高效可靠的性能和較低的材料消耗。ANELVA ILD 4003M具有較高的真空熱蝕刻能力，可以實現比傳統系統更低的離子能量。它采用基於磁控管的「冷」源技術，確保有效的離子束沈積在基板表面上。該裝置配備了廣泛的工藝預處理參數和處理前後步驟的特點，包括氧氣清洗、硬面膜沈積、光澤、蝕刻和金屬蝕刻。ILD 4003M的集成過程頻率控制（IPFC）和等離子體聚焦，旨在增強反應性離子蝕刻和實現更高的精度，從而產生高質量和可重復的器件特性。此外,CANON/ANELVA ILD 4003M具有出色的蝕刻均勻性、較小的特征尺寸和較高的蝕刻速率。它還支持一系列蝕刻氣體，其中包括氙氣、二氧化碳、氧氣和氫氣。CANON ILD 4003M提供了廣泛的工藝條件，確保了與各種應用的兼容性，包括光刻、3D成型、MEMS和其他微加工工藝。它具有直觀的LCD觸摸面板界面,便於操作和管理蝕刻過程。此外,ANELVA ILD 4003M具有內置遠程監控功能,可幫助確保效率和最大程度地減少停機時間。總體而言，CANON ILD 4003M是在各種應用中實現高質量微結構的理想蝕刻機。該工具的尖端特性和先進技術使其成為工業微加工的可靠而有力的工具。