二手 CANON / ANELVA ILD 4013 #293747123 待售

CANON/ANELVA ILD 4013是一款Asher/Etcher，設計用於高容量、高精度的等離子體蝕刻和清洗程序。這臺機器配備了高精度的X-Y級，允許在蝕刻/清潔室中精確和可重復地定位基板。為保證高吞吐量和工藝重復性，CANON ILD 4013還配備了可編程控制器，使其能夠同時蝕刻多個基板。ANELVA ILD-4013能夠將材料沈積到各種基材上並進行等離子體化學蝕刻。此蝕刻過程由高功率RF（射頻）發生器驅動，並由控制器協助設定過程參數和控制ILD 4013的運行。通過控制蝕刻的溫度、壓力和時間，CANON/ANELVA ILD-4013能夠在基材中產生一系列物理和化學變化。ILD-4013還能夠進行原位清潔操作。這種蝕刻工藝使用惰性氣體從基板上剝離汙染物。這是使用放置在基板上並使其振動的機械線軸來完成的。振動產生真空，將汙染物從基板中抽出，沈積到線軸上。然後將汙染物清除並丟棄。除了精密蝕刻和清潔功能外，ANELVA ILD 4013還通過在基板上提供惰性氣體氣氛，確保各種操作的結果一致。這是由一系列質量流控制器完成的，這些控制器可以控制蝕刻/清潔室內大氣的溫度和壓力，使得執行可重復的過程更加容易和高效。CANON ILD-4013在半導體制造業有許多應用，例如晶體管、IC和其他微電子元件的生產。它也被用於納米結構、醫療儀器和航空航天部件的制造和組裝。通過提供高精度的蝕刻和清潔操作,CANON/ANELVA ILD 4013確保組件表面沒有汙染物,從而使產品更加可靠。