二手 CANON / ANELVA ILD 4015 #9143474 待售

CANON/ANELVA ILD 4015是一種蝕刻器/asher，設計用於制造微機械結構如微電子、傳感器和其他高精度器件部件。它是一種感應耦合等離子體（ICP）幹蝕刻器/灰化器，帶有電子束源，在高真空環境中使用的是氙氣和CF4氣體蝕刻樣品表面。CANON ILD 4015是一款用途廣泛的小型設備，適合廣泛的蝕刻和灰化應用。ANELVA ILD 4015由四個主要組件組成：樣品室、抽水設備、電子束源和電源。樣品室由具有靜電和永磁的鋁和氣體輸送系統組成，可精確控制蝕刻氣體的分布。抽水機既裝有渦輪分子泵，又裝有機械助推泵，實現等離子體過程控制的高真空環境。電子束源產生高強度電子束，用於生成等離子體。最後，電源負責控制電子束能量和維護等離子體。ILD 4015能夠蝕刻和灰化高達20微米的特征尺寸，可以蝕刻金屬、矽、二氧化矽等材料。其高真空環境消除了濕表面鈍化步驟的需要，其電子束源允許無汙染和損壞的低溫處理。此外，其氣體輸送機控制和表面蝕刻均勻性控制特點使其適合廣泛的工藝需求。CANON/ANELVA ILD 4015也非常適合多種表征技術，如二次離子質譜（SIMS）和原子力顯微鏡（AFM）。其高真空環境和溫度控制使得敏感元件能夠進行高精度蝕刻和灰化，而電子束源可用於對樣品進行陰離子束濺射蝕刻和氧化。另外，CANON ILD 4015是為無串擾實驗而設計的，這是表征所必需的。總體而言,ANELVA ILD 4015是一種有效的蝕刻器/asher,專為各種蝕刻和灰化應用而設計。其高真空環境、電子束源、氣體輸送工具控制為用戶提供精確的過程控制。它也非常適合多種表征技術，使其成為制造高精度器件元件的絕佳工具。