二手 CANON / ANELVA ILD 4015 #9257789 待售

CANON/ANELVA ILD 4015是為工業和研究用途而設計的高精度蝕刻器/asher。這臺機器能夠在基材上創建高度精確和復雜的圖樣。它是一種雙組分蝕刻器/asher,這意味著它能夠使用蝕刻或灰化作為主要處理方法。CANON ILD 4015利用一個感應耦合等離子體（ICP）腔創造了一個高溫環境，用來蝕刻或粉刷基材。腔室具有集成的電子回旋共振（ECR）磁控管，進一步提高了腔內等離子體的溫度和密度，以確保精確的蝕刻結果。ANELVA ILD 4015的蝕刻和灰化時間可以調整，以滿足每個應用程序的具體需求，因為該過程是高度可調的。最大加工面積為150毫米x 150毫米，適合一系列形狀和尺寸各異的基板。集成真空系統允許ILD 4015在蝕刻和灰化過程中保持高度一致的壓力。這樣可以確保在基材上的蝕刻分布更加均勻，從而產生質量更好的最終產品。該機器能夠在一定溫度範圍內運行,從室溫到高達900 °C,使其能夠用於各種過程,包括晶圓摻雜、3D結構和表面修改。CANON/ANELVA ILD 4015還提供了一系列其他功能，包括加速器控制、受控氣體引入和自動氣體關閉。這些功能有助於進一步提高蝕刻和灰化過程的準確性,從而對最終結果進行更精確的控制。CANON ILD 4015是為工業和研究用途而設計的高精度、可調的蝕刻器/asher。其集成的ICP腔室、ECR磁控管和精密真空系統使其能夠以高精度和高效率的方式蝕刻和灰分基板材料。可調溫度範圍、加速器控制系統、控制氣體引入和自動關閉功能進一步增強了機器的性能,使其非常適合各種應用。