二手 CANON / ANELVA ILD 4015 #9390493 待售

CANON/ANELVA ILD 4015是一種蝕刻器/Asher，或Vapor Etch Asher，其中在研發、生產運行前或實驗室測試前對標本進行蒸氣蝕刻或蝕刻等離子蝕刻。這種裝置使用金屬有機氣體，從室外吸入，然後加熱產生等離子體。產生的等離子體用於蝕刻或粉碎設備內部的樣品。CANON ILD 4015是多種材料蝕刻和灰化的強大工具，包括金屬、聚合物和半導體。ANELVA ILD 4015利用先進的浮動電極技術（FET）ashing原理，加熱金屬有機氣體，制造出一種用於蝕刻和ashing的等離子體。浮動電極位於與要蝕刻的材料不同的距離，使等離子體在過程中分布均勻。FET系統在蝕刻時間和灰度時間上也提供了無與倫比的均勻性。利用這項技術，可以實現局部區域或選擇性蝕刻。ILD 4015配備了靜電卡盤，使晶片在灰化之前能夠精確放置。它可以處理尺寸可達200毫米x 300毫米的長方形標本，每批最多可處理五個單位。另外，CANON/ANELVA ILD 4015配備了強大的真空泵，提供3倍10-6Pa的基本真空。CANON ILD 4015是一款數位蝕刻機。它配備了板載微處理器和用戶友好的觸摸屏界面。數字顯示顯示了蝕刻或灰化過程中的壓力、溫度和時間,從而可以精確控制工藝條件和室內氣氛。總之，ANELVA ILD 4015是一款高性能的蝕刻器/asher，配備了先進的技術和直觀的用戶友好控制。它能夠對各種材料進行有效的蝕刻和灰化,同時提供對過程的精確控制。ILD 4015的多功能性和性能使其成為任何研究或生產實驗室的有用工具。