二手 CANON ANELVA ILD 4032 #293747124 待售

CANON/ANELVA ILD 4032是一種先進的等離子體處理室，設計用於集成電路制造。該機用於半導體器件制造中常用的蝕刻和灰化工藝.CANON ILD 4032提供了一個高精度級，允許精確放置腔室晶片而不將它們系在基板上。這樣可以確保在每個所需的層之間以高度定義的均勻性重復該過程。ANELVA ILD 4032能夠用氯氣和氧氣基氣體蝕刻和灰化，同時利用氙氣作為超低偏置電源的鎖定氣體。它還可以提供一個工藝窗口，以滿足更重的蝕刻和灰化條件。此外，它還配備了一個配有多個柵格的離子源，以便在更廣泛的能級範圍內使用一系列離子源。一個單獨的氣體面板和淋浴設備為工藝提供額外的控制，以適當的光刻，提高機器的生產力。先進的加工室還有一個叠代層沈積系統，允許從一層平滑地過渡到另一層，以及提供改變從一層沈積到下一層的材料厚度而無需任何額外處理的能力。這個單元也是溫度控制的，允許更窄的工藝窗口和更高效的蝕刻和ashing操作。這樣可以縮短總周期時間並提高產品產量。ILD 4032還提供了一種集成視覺機器，可自動定位和對準基板上的晶片，提供均勻蝕刻和灰化過程所需的精確位置和方向。這種先進的視覺工具進一步提高了機器的準確性,並最大限度地減少了不必要的停機時間。此外，CANON/ANELVA ILD 4032被設計為與其他工具集成，以提供完整的蝕刻和灰化資產。該腔室與各種標準軟件和第三方軟件兼容，這些軟件提供了更大的靈活性，可有效地追蹤、監測和控制過程。CANON ILD 4032也符合RoHS要求，確保該裝置使用的材料對人體生命沒有危險。總之，ANELVA ILD 4032是一種先進的蝕刻和灰化機，能夠提供高質量、可重復的結果，幾乎沒有停機時間。其先進的精密階段和集成視覺模型提供了一個擴大的過程窗口，而其叠代層沈積設備則確保了材料在每一層上的一致沈積。它與第三方軟件的廣泛兼容性確保了可追蹤性和高效的生產跟蹤,其RoHS合規性確保了所使用材料的安全性。