二手 CANON / ANELVA ILD 4032 #9043724 待售
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CANON/ANELVA ILD 4032是一款蝕刻器/asher,設計用於提供高精度的細金屬圖樣蝕刻,以及介電樹脂和其他厚厚的有機和無機膜。這類蝕刻器廣泛應用於多個行業,如:半導體制造、光刻、3D打印、電路板生產和液晶顯示器制造。CANON ILD 4032具有感應耦合等離子體蝕刻技術,提供能以高達3mm/min的速率蝕刻的高密度離子束。該單元配備了多種壓力、溫度和氣體輸送控制,允許精確的蝕刻過程控制。這些系統還具有一系列外部電極,這些外部電極通過射頻發生器供電,從而產生用於蝕刻過程的低壓等離子體放電。ANELVA ILD 4032能夠處理最大12英寸大小的晶片,並配有用於精確蝕刻對準和暴露於等離子體的4軸運動控制設備。該設備還提供高達0.001微米的驚人分辨率,以及27.6英寸x 17.7英寸x 20.6英寸的腔室尺寸。該單元具有多項可添加到系統中的可選功能,包括遙控單元、真空機以及其他各種腔室處理。它還包括門鎖工具等先進的安全功能,以及各種電氣和空氣安全系統。這是為了在蝕刻過程中保護操作員以及可能涉及的任何液體。ILD 4032是一種令人印象深刻的蝕刻資產,能夠精確蝕刻金屬、樹脂和其他厚厚的有機和無機膜。它非常適合那些正在尋找具有高級安全功能的高精度模型以及各種可調節的參數以優化蝕刻的人。
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