二手 CANON / ANELVA ILD 4032 #9390492 待售

CANON/ANELVA ILD 4032是幹式蝕刻器的一種，又稱Asher。這臺機器用來蝕刻圖樣或形狀到基板上.它的工作原理是使用通常用於復雜制造或蝕刻應用的減法工藝，從而提供優於傳統機械鉆孔或銑削的分辨率。CANON ILD 4032由高壓射頻源供電，利用閉環過程控制系統進行精確蝕刻控制。ANELVA ILD 4032設計緊湊,重量輕巧,適用於實驗室和生產環境。它有一個內置的負載鎖定室和一個耐化學的固態目標架，既可以自動加載也可以手動操作。此外，ILD 4032為用戶提供了使用不同基板的靈活性，如玻璃、矽、GaAs、聚酰亞胺和其他聚合物。CANON/ANELVA ILD 4032使用感應耦合等離子體（ICP）蝕刻工藝。這一過程包括將射頻信號施加到位於工作區域上方的線圈上，然後在用於蝕刻的氣體中創建感應場。感應耦合等離子體可以更好地控制蝕刻過程，因此提供了更高質量的蝕刻特征。在性能方面，CANON ILD 4032能夠實現低至0.3 µm的分辨率，適合精密蝕刻應用。它還具有較大的蝕刻面積,覆蓋面積可達6.25 cm2 （3.1英寸）,因此非常適合生產級別的蝕刻。ANELVA ILD 4032可以蝕刻鋁、銅等材料需要更高蝕刻速率。除了蝕刻功能外,ILD 4032還配備了安全功能,如低壓直流放電預防、電弧檢測和O2監視器鎖定功能。這些功能有助於保護用戶和機器,在蝕刻或其他過程中提供安全操作。綜上所述，CANON/ANELVA ILD 4032是精密蝕刻應用的理想選擇。它具有緊湊的設計、輕巧的結構，並具有耐化學的目標支架，使其適合實驗室和生產環境。CANON ILD 4032使用感應耦合等離子體過程，允許更大的控制，從而產生更高質量的蝕刻特征。它還配備了提供安全操作的安全功能。