二手 CANON / ANELVA ILD 4033 #9257787 待售

CANON/ANELVA ILD 4033是利用惰性氣體技術的緊湊、強大、反應性離子蝕刻器（RIE）/asher。它是一種單晶片設備，由一個容納基板的主腔室、一個內部工藝腔室和一個外部腔室組成，用於輸送蝕刻過程中使用的惰性氣體。該系統設計用於各種材料的蝕刻，包括矽、金屬薄膜和其他半導體材料。CANON ILD 4033能夠精確地蝕刻具有精確控制和均勻性的材料。該工藝室包含一個精細控制單元，以保持均勻的蝕刻深度和可調的蝕刻室壓力，以控制蝕刻時間和溫度。該機器還具有很高的蝕刻速率,並且由於不同材料的蝕刻速率不同而對陰影效果具有很高的公差。ANELVA ILD-4033配備板載控制器，允許用戶對蝕刻過程進行編程，最多存儲99個進程程序，重新啟動中斷或不完整的進程，並在操作過程中調整設置參數。主室還配有石英窗，讓蝕刻過程可視化。ILD 4033利用射頻電源和ICP（感應耦合等離子體）產生理想的蝕刻氣氛。該工具能夠產生具有冷壁電極技術、射頻偏置和交流/直流電源能力的ICP等離子體。主室設計為產生高等離子體密度，並在整個過程中保持穩定的條件，允許精確且可重現的蝕刻深度。ILD-4033配備了先進的安全資產。該車型配有防爆門和一系列安全開關，以防止意外接觸蝕刻化學品。該工藝室的設計是為了防止產生顆粒和外部損壞設備。此外,環境傳感器會不斷監視內部環境,以確保操作安全。總之，ANELVA ILD 4033是一種利用惰性氣體技術精密、精密地蝕刻材料的強大、反應性離子蝕刻器/灰化器。其先進的安全功能和車載控制器為用戶提供了高效可靠的蝕刻工藝。