二手 CANON / ANELVA ILD 4033 #9258941 待售

CANON/ANELVA ILD 4033是一種蝕刻/灰化工具,主要用於生產電子元件和設備。它能夠進行濕法和幹法蝕刻/灰化工藝，允許在元件生產中廣泛應用。CANON ILD 4033具有一個射頻等離子體發生器，該發生器產生一個用於均勻蝕刻輪廓的高功率等離子體。這臺發電機由雙頻櫃、雙頻電源和射頻等離子體源組成，為ANELVA ILD-4033提供了廣泛的等離子體生成能力。該工具還配備了先進的自動電極偏置調節，能夠產生不同的蝕刻/灰化效果。這是通過調整電極電壓並允許用戶定制蝕刻/灰化參數來實現的。該模型旨在在蝕刻/灰化過程中實現精度和速度的最大化。它使用高精度的轉子設備來固定基板，產生均勻的氣體流動。還包括高壓氣源，以便提供更高的蝕刻/灰分速率。這臺機器允許同時蝕刻/粉刷多種基材，因為它的多級板材蝕刻頭。這不僅具有多個板式電極,而且還具有可根據所需的蝕刻/灰分參數調整的精密噴嘴。ILD 4033由於其先進的清潔模塊，提供了強大的清潔解決方案。該清洗模塊包括靜態幹洗罐和射頻柔性清洗系統。這些特征協同工作，在每次蝕刻/灰化過程後有效地清除晶圓和壓板上的殘留物。該設備還提供有效的保護，防止蝕刻損壞，由於其先進的保護單元。這包括用於有效電壓控制的交流電源；一個綜合聯鎖機器，以防止因壓力水平升高而產生振動；以及一臺射頻高頻發電機，用於提高絕緣故障時的電氣安全。總之,ANELVA ILD 4033是一種高度先進的蝕刻/灰化工具,它為電子元件和設備的生產提供了一致、可靠和有效的解決方案。它的眾多功能使其成為一種高效的組件生產工具,它具有一套通用的蝕刻/灰燼功能,一種精確、快速的旋轉工具,並包括多種清潔和保護解決方案。