二手 CANON / ANELVA ILD 4100 SVII #293654386 待售

CANON/ANELVA ILD 4100 SVII是一種蝕刻器/asher，使用感應耦合等離子體（ICP）技術來實現對蝕刻/ashing過程的高精度控制。該設備設計用於真空室，允許與其他工藝的潛在兼容性。CANON ILD 4100 SVII能夠處理各種材料，具有出色的蝕刻/灰化性能和表面質量。系統的主要功能是ICP電源和相關電源。這些電源產生並控制ICP, ICP用於蝕刻/粉刷目標材料。ICP產生一種非接觸式清潔機制，其中由等離子體物質組成的離子撞擊到材料表面，導致目標材料分解並去除材料。此過程還會導致蝕刻/粉刷表面的高度均勻性。除了ICP源和電源外，ANELVA ILD 4100 SVII還具有集成氣體供應單元，允許精確控制等離子體種類及其與工藝基板的相互作用。該機還具有高真空渦輪泵，可維持低真空狀態，以實現最佳蝕刻/灰化性能。ILD 4100 SVII還具有多種ICP流程配置,為各種蝕刻/灰化應用程序提供了更大的靈活性。該工具的特性和參數，如壓力、氣流和ILD氣體濃度，也可以精確調整，並通過圖形用戶界面（GUI）顯示和控制。這使用戶能夠準確控制蝕刻/ashing過程並保持高質量的結果。CANON/ANELVA ILD 4100 SVII還提供了多種安全和安保功能，例如內置的設備監控資產，為用戶提供了真空水平和型號溫度等信息。總體而言,CANON ILD 4100 SVII是一款高度先進的蝕刻器/灰化器,具有多種功能,可實現高性能蝕刻/灰化。該設備能夠處理各種材料，具有優異的蝕刻/灰化性能和表面質量。該系統還配備了多種ICP工藝配置、集成供氣單元和高真空渦輪泵，用於最佳蝕刻性能和對蝕刻/灰化工藝的精確控制。ANELVA ILD 4100 SVII還提供多種安全保障功能，讓用戶有機會從機器上獲得最大的性能。