二手 CANON / ANELVA ILD 4100 #293814342 待售

CANON/ANELVA ILD 4100是一種用於在半導體基板上產生高質量圖樣和微小特征的蝕刻器/asher。它具有高功率、高壓、氣相蝕刻設備，有助於實現納米分辨率蝕刻。該系統使用含化學惰性氯氣（CCl2 F2）作為蝕刻劑。CANON ILD 4100 蝕刻器/asher包括先進的蝕刻頭設計和強大的操作單元。該機包括一個裝有電極的空腔、具有噴嘴能力的磁鐵和一個介電窗。這種空腔有兩個過程：第一，它被設計成在電極之間產生一個高電位梯度，使電離粒子加速向基板。其次，利用強大的磁場來確保蝕刻氣流保持整個基板的中心。該工具還利用高壓交流脈沖電源和快速數據處理，快速準確地控制電離沈積過程。高分辨率數字圖樣是由能夠編程的蝕刻參數與0.1納米的精度啟用。蝕刻器/asher還配備了先進的源頭保護措施和多重安全功能，以確保資產的安全運行。該型號還可以通過遙控器操作。ANELVA ILD-4100是納米技術領域一系列應用和工藝的優秀蝕刻器。它非常適合在晶圓、玻璃、陶瓷和其他材料等基材上創建具有納米分辨率的精密圖樣。它具有高端設備、易於使用的控件和緊湊的設計，使其節省空間，適合廣泛的應用。