二手 CANON / ANELVA ILD 4100SDII #293821836 待售
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CANON/ANELVA ILD 4100SDII是一種在各種工業和科學環境中使用的蝕刻器/asher。CANON ILD-4100SDII利用各種離子束技術在晶圓和MEMS(微機電系統)等平坦基板上蝕刻和粉刷材料表面。ANELVA ILD 4100SD II是一種低壓離子束系統,設計緊湊,可靠性高。它使用帶有多孔碳陰極的離子源產生均勻的轟擊離子束,可以用步進電機控制並施加到基板表面。產生的離子的能級可以從60到400 V進行蝕刻和灰化薄膜或鍵合底物的調節。ILD 4100SDII的源塊還配備了變速旋轉葉片來調節光束強度。此外,該系統還包括高真空渦輪分子泵、渦輪旋轉和超聲波振動,以及用於應用靈活性的阻擋功能。CANON/ANELVA ILD 4100SD II提供了一系列蝕刻/灰化應用,如氧化物玻璃蝕刻、抗剝離和清潔、碳去除和硬質碳膜去除。也適用於氮化矽、二氧化矽、金屬、聚合物、鈦、鎳等的蝕刻和粉刷。此外,它還可用於自上而下的退火,以恢復或修復現有曲面和結構。ANELVA ILD 4100SDII允許用戶實時監控蝕刻速率和深度,從而提供優於其他系統的準確性和可重復性。這有助於確保以最少的廢物進行高效的材料加工,並減少過度蝕刻或過度蝕刻的風險。此外,蝕刻器/asher使用直觀的圖形用戶界面和遠程設備控制,易於編程和操作。總體而言,ANELVA ILD-4100SDII是一種高級蝕刻器/asher,具有廣泛的應用。它通過對蝕刻和灰化過程的實時監控,以及以最小的浪費進行高效的物料處理,提供了卓越的準確性和可重復性。它還有一個簡單的用戶界面,並帶有烘烤和草叢旋轉功能等內置功能,使其成為各種工業和科學過程的絕佳選擇。
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