二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293637503 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一種用途廣泛的工業蝕刻器或asher,能夠處理大批量的基材或晶片,效果優異。CANON ILD-4100SR非常適合晶片切割、模具連接和IC封裝應用,具有直接等離子體源、特殊的幹蝕刻/條帶技術以及晶片兩側的同時蝕刻。ANELVA ILD-4100 SR利用專有的ILD（電離線路方向）技術來確保卓越的工藝效果。該技術的主要優點是在晶圓的整個表面上進行均勻性蝕刻。這項技術還消除了等離子體與晶圓表面相互作用所產生的等離子體中的雜質。精確、精確的ILD技術蝕刻也有助於產生精確、可重復的結果，而無需人工調整。ILD 4100SR是一種高性能的工業蝕刻器，能夠在所有普通半導體中蝕刻和剝離深達7 µm的工藝。該系統能夠處理直徑達200毫米的基板，使其適用於0.25-3.5mm範圍內的晶片。該系統的集成微蝕刻（MIL）和條帶功能在所有典型的蝕刻操作（如銅、金和鋁）中均提供卓越的性能。CANON/ANELVA ILD-4100 SR提供了大量自動化功能,包括計算機接口和外部過程計時器。這樣可以實現快速、可重復和精確的蝕刻結果。該系統還具有自動溫度和功率控制功能,可實現精確和可重復的溫度控制。ILD-4100 SR符合行業環境安全標準,並已獲得歐盟認證以符合歐盟RoHS（危險物質限制）法規。這款蝕刻器還兼容了全方位的配件和化學品，包括真空室、電化學鍍層、厚膜光刻、槽蝕刻等。CANON ILD-4100 SR是一個全面的，堅固的工業蝕刻器，能夠處理大批量的基材或晶片的精確和最大的安全性。其獨特的ILD技術可確保統一的蝕刻結果,其集成的自動化功能可實現快速、精確和可重復的結果。ILD 4100 SR憑借其行業標準認證和廣泛的兼容配件和化學品，是大批量工業蝕刻應用的理想選擇。