二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293751263 待售
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CANON/ANELVA ILD 4100SR是一種緊湊、濕式臺式蝕刻器/asher，設計用於大規模表面安裝組件和其他精密蝕刻應用的高精度處理。這臺機器使用強大的化學溶液燒蝕組件表面，形成光滑、永久的蝕刻圖案。CANON ILD-4100SR設備能夠蝕刻從小芯片和細線到大板和電介質的基板。它具有較大的腔室尺寸，具有20英寸乘24英寸的加工面積和高達4英寸的蝕刻深度。對腔室進行冷卻以防止電弧和在蝕刻過程中對敏感部件造成熱損壞。系統內裝有一臺高功率射頻發電機，能夠產生高達300瓦的等離子體功率。此單元具有先進的工藝控制功能,允許精確的蝕刻時間降至1秒,特征尺寸為0.1 µm。該機還能夠產生1 µm至10 µm/秒的可調蝕刻速率，並且可以根據應用情況適應不同的蝕刻溫度。該工具具有可調節的濕度控制，以確保在蝕刻過程中最佳去除顆粒，以及真空資產，以防止交叉汙染或堆積蝕刻顆粒。ANELVA ILD-4100 SR還帶有一個可編程控制器,允許用戶設置和存儲用於運行蝕刻進程的參數。這種精密的控制器還具有觸摸屏界面、熱電偶傳感器、真空壓力傳感器和以太網連接，便於控制和監控系統參數。總體而言,CANON ILD 4100SR是一個非常高效且功能強大的蝕刻器/asher模型,能夠進行高精度和可重現的蝕刻。該設備體積大，工藝參數可調，工藝控制先進，是精密蝕刻應用的理想選擇。
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