二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293758800 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一種用於半導體制造的高性能離子蝕刻器/asher。它能夠以很高的分辨率和選擇性進行蝕刻。CANON ILD-4100SR具有廣泛的工藝,能夠蝕刻高達8英寸的晶圓,均勻度為+/-10%,而可重復性在+/-1%以內。該工具非常適合高精度的應用,在時間和材料厚度方面都需要高度的可重復性。ANELVA ILD-4100 SR利用離子束技術，對材料進行蝕刻，幾乎沒有材料損失。該過程也極具效率，資源消耗低，殘余應力低。設備可以用各種參數進行編程，如蝕刻時間和光束電流，以便為每個應用產生優化的蝕刻。CANON ILD 4100SR還設有一個氮氣外殼，以幫助維持低粒數，一個高真空室，以及一個快門系統，以盡量減少蒙版區域外的蝕刻。它還使用了一種專利氣體過濾單元，能夠從工藝室中去除O2、N2和CxHx（x為數）分子。這種過濾工藝有助於確保高表面光滑和零件的完美精加工。ANELVA ILD 4100 SR的蝕刻速率可以通過其兩頻設置進行調制，實現微調蝕刻。機器還可以顯示過程的實時圖像，允許立即反饋結果。這有助於確保一致、準確的蝕刻和灰化結果。ANELVA ILD-4100SR還具有一系列特殊功能，如高真空泵浦、低殘余應力電鍍、鋅鑄造和W模摻雜。這些附加特性旨在提供更大範圍的應用，如晶圓上的接觸開口的鍍層，或石英晶圓上的層的形成。CANON/ANELVA ILD-4100SR是一款具有多種獨特功能的高端離子蝕刻器/asher。其技術能力專為精密和高產制造而設計，其額外的特殊功能賦予其更大的靈活性。這些組件共同構成了半導體材料蝕刻的強大工具。