二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293821838 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一款高性能蝕刻器和asher，專為先進的光掩模蝕刻和ashing操作而設計。它是為滿足現代制造工藝對先進口罩制造的需求而開發的。CANON ILD-4100SR具有獨特的熱管理設備和專利技術,使其能夠實現高蝕刻和灰化率,同時保留復雜的光掩模圖案的形狀和特征。ANELVA ILD-4100 SR是一種高效的蝕刻器/灰化器,可產生幹凈、可重復和一致的光掩模蝕刻和灰化結果。其獨特的熱管理系統和專利技術使其能夠達到高的蝕刻和灰化率，而不犧牲圖樣的完整性或對基板的損害。憑借其先進的光掩模圖樣蝕刻功能,ILD-4100SR能夠為高級半導體生產過程創建高性能和高精度光掩模。CANON/ANELVA ILD 4100 SR具有高級自動化功能,如流程監控和數據采集功能,以確保優化所有蝕刻和灰化過程,並在可接受值的大窗口內調整參數。此外,它還具有高級診斷和重新校準功能,使其能夠快速診斷問題和錯誤,並自動重新校準以避免不必要的重做。ILD-4100 SR還采用雙腔室設計,可實現高效、均勻的蝕刻和灰化工藝。其先進的蝕刻和灰化工藝控制單元能夠調節蝕刻和灰化時間、蝕刻和灰化溫度、氧氣壓力以及蝕刻和灰化流體溫度等蝕刻和灰化參數。這使CANON ILD 4100 SR能夠在包括金屬、塑料、陶瓷和石墨在內的多種材料中執行蝕刻和灰化操作。為確保蝕刻和灰化過程中的最大精度和可重復性,CANON/ANELVA ILD-4100 SR具有高度精確的掩模級,並配備了微米和攝像頭坐標系,從而實現了高度精確的支持操作。此外,它還利用從低電壓到高電壓的各種電源來獲得最佳效果。總體而言，CANON ILD-4100 SR是一種有效且可靠的蝕刻器/灰化器，能夠在光掩模圖樣蝕刻和灰化過程中達到最大精度和重復性。ANELVA ILD 4100 SR憑借其先進的熱管理機、專利技術、先進的自動化能力、雙室設計、精確的掩模階段，是先進的光掩模制造的理想解決方案。