二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9161261 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是制造微電子器件的最先進的蝕刻器/asher。它結合了先進的離子束蝕刻和淺各向異性蝕刻技術，使廣泛的蝕刻參數。CANON ILD-4100SR設計用於生產統一、幹凈和精確的蝕刻,可用於各種微電子器件制造過程。ANELVA ILD-4100 SR具有固定的前基底結構設計,可確保最低限度的維護要求。它采用不銹鋼制成，外觀耐腐蝕，易於清潔。蝕刻室專為蝕刻和灰化工藝而設計，並配有高精度定位系統。該腔室的腔室尺寸為200毫米x 200毫米x 80毫米，可同時支持大氣和真空蝕刻條件。ANELVA ILD-4100SR能夠蝕刻具有廣泛蝕刻參數的材料,如ILD（感應耦合等離子體）、CF4、SF6和CCl2F4。它支持反應性離子束和離子束誘導蝕刻。它能夠實現大於1400 nm/min的蝕刻速率,並且能夠蝕刻具有不同輪廓的不同形狀。CANON ILD-4100 SR非常可靠,具有廣泛的過程控制功能。可以預設控制離子束電流、氣壓、蝕刻時間和襯底的開關時間。它還具有集成的過程診斷功能,有助於確保蝕刻的均勻性和可重復性。CANON/ANELVA ILD 4100 SR還配備了激光對準器，可以遠程調節離子束圖樣的強度，驗證蝕刻圖樣的對準。紅外熱成像系統可以測量蝕刻表面的溫度，並向操作員提供反饋以改進蝕刻結果。ILD-4100 SR具有強大、高度可靠的設計,能夠產生精確的微電子器件蝕刻。它易於使用的功能和集成的過程診斷有助於確保可靠和可重復的蝕刻結果。