二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227368 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是為半導體行業的應用而設計的高性能蝕刻器/asher。該裝置利用最新的惰性氣體技術對晶圓、MEMS器件和其他基板進行理想的蝕刻或灰化。CANON ILD-4100SR配備了最新的N2O2控制技術，可實現精確、可重復的蝕刻和灰化效果，幾乎沒有表面損壞。該裝置具有與各種氟化物和酸性蝕刻/灰分蝕刻劑以及二氧化矽和矽粉刷用二氧化碳的優良兼容性。該設備具有良好的分辨率和精度,具有可重復的效果和改進的表面光潔度.其集成的外殼允許使用先進的氣體輸送方法與Smartstream冷卻相結合,以獲得卓越的均勻性結果。ANELVA ILD-4100 SR還配備了多種工藝控制功能，包括內部壓力、流量和溫度控制，用於不同晶圓類型的精確蝕刻/灰化。該設備在高頻電源上運行,在正常模式下最多可處理60MHz。這樣可以精確控制蝕刻/灰化過程。除了高頻電源外，該系統還配備了多種先進組件，如微處理器控制的腔室壓力控制器和高效電磁放電單元。ILD 4100SR還配備了多種安全功能，包括自鎖門、內置滅火機、過溫報警和緊急關機工具。此外,該資產還內置了安全通信協議和數據加密,用於安全地向設備發送和接收數據。總體而言,ILD 4100 SR是一種出色的蝕刻/粉碎器設備。它為各種晶片基板和MEMS設備的蝕刻和灰化提供了精確、可重復和安全的工藝。最新的惰性氣體技術，加上內置的安全特性，使得模型適合廣泛的應用。