二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227371 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是專門為批量生產而設計的關鍵尺寸掃描儀。它是一種高度精確可靠的機器,具有獨特的紅外視覺設備,能夠快速準確地測量表面、線寬或凹槽圖樣,非常適合半導體應用。CANON ILD-4100SR是一種真空蝕刻器/灰化器,允許在對蝕刻速率進行嚴格控制的情況下將材料去除至預定深度。其精確度是通過控制物料去除率而不是依靠化學蝕刻實現的，化學蝕刻通常用於蝕刻器/灰燼。ANELVA ILD-4100 SR具有兩級充電系統，其中第一級為二級電子槍充電，第二級為紅外視覺單元充電。這種充電機允許精確設置和控制蝕刻速率。此外，電感耦合等離子體技術（ICP）用於均勻地去除材料，而不會產生任何磨損。CANON ILD 4100 SR也可用於制造用於芯片微處理器、生物傳感器和診斷應用的MEMS（微機電系統）組件。在MEMS制造中，該機器能夠創造出深度小於1微米的超細通道和空腔。該機還經過設計，可以使用一系列蝕刻材料，包括矽、多晶矽、氧化矽、鋁和III-V化合物。在這種蝕刻器/灰燼設計中,非常註重安全和環境保護,具有廣泛的安全和排氣特性,包括互鎖、危險氣體中和器和變速排氣風扇。CANON ILD-4100 SR在高級蝕刻和特征尺寸縮小應用方面也非常有效。這是通過使用特定參數設置實現的，允許精確控制蝕刻過程和取得的成果。最後，CANON/ANELVA ILD 4100 SR是一種為量產半導體應用而設計的精密蝕刻/灰燼工具。它的靈活性和適應性使得它適用於廣泛的工藝，以及微機電系統的制造和先進的蝕刻和減小尺寸的應用。其強大的安全性和環境特性使其非常適合在受控環境和危險環境中使用。