二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9238858 待售

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 9238858
Oxide dry etcher.
CANON/ANELVA ILD 4100SR是一種用於高精度表面處理的ICP蝕刻機。它是一種多功能設備,可以同時執行光刻和蝕刻過程,使其成為醫療、芯片制造和光學元件工業的通用工具。機器使用CF4、CHF3和SF6的電離氣體組合進行蝕刻。這些氣體通過金屬針頭與從ICP電源獲得的等離子體一起釋放。然後在樣品上掃描針頭,以便均勻地蝕刻所需的圖案或表面。佳能ILD-4100SR的蝕刻面積最大可達400毫米乘400毫米,蝕刻深度可達10 μ米,高精度和重復精度可達0.5 μ米。其緊湊的設計可以方便地安裝和集成到現有系統中,而且加工時間也更短,從而提高了生產率,減少了材料的浪費。該設備采用高分辨率查看設備,用戶可以實時監控蝕刻過程。它還具有高精度的自動調平系統,確保在操作過程中正確調整和對齊蝕刻針。ANELVA ILD-4100 SR配備了高安全特性,如電弧檢測、冷卻水質管理、氮膜和火花探測器,都有助於安全的工作環境。設備還配置為允許遠程操作以及手動控制,以實現最大程度的控制和靈活性。機器不斷監控準確可靠的結果,可以與其他CANON設備集成,以提高效率。總體而言,ILD-4100SR是一種可靠可靠的精密加工蝕刻解決方案.其廣泛的特點和選擇使其適合各種應用和行業,其高安全標準保證了受保護的工作環境。該蝕刻機易於安裝操作,提供高精度和可重復性,性能優越。
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