二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374944 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是為各種類型的物理蝕刻和灰化工藝應用而設計的蝕刻/灰化設備。它是一種使用感應耦合等離子體（ICP）源誘導等離子體的高性能蝕刻/灰化系統。該等離子體隨後被用於各種類型和大小的晶片的蝕刻和灰化。佳能ILD-4100SR能夠處理多達8 x 8英寸的晶圓。ANELVA ILD-4100 SR是一個具有多級氣體控制結構的單元，用於晶片的精確蝕刻和灰化。本機采用三區氣體控制裝置，利用氣體控制區保證了穩定的蝕刻和灰化效果。氣體控制單元還有助於減少蝕刻/灰化室內微粒的產生。CANON/ANELVA ILD-4100 SR利用光學致動飛濺防護工具（OAP）通過降低火花與其他組件相互作用的風險來保護基板和組件。此資產有助於確保沈積和蝕刻發生在最佳環境中,並且任何關鍵區域或敏感組件都不會損壞。ILD-4100 SR模型還具有用於超精確參數跟蹤的閉環實驗。這使得用戶即使在實際的過程運行過程中也能快速準確地試驗過程控制參數，讓用戶充分利用他們的蝕刻和ashing過程結果。CANON ILD 4100 SR是一個獨立的設備，具有自動化的裝卸系統，以幫助簡化蝕刻和灰化過程。此自動化單元有助於減少處理和設置時間,並有助於確保晶圓在最佳條件下被蝕刻和灰化。總體而言，ILD 4100 SR是一款高性能的蝕刻器/asher機，專為各種類型的物理蝕刻和灰化工藝應用而設計。該工具具有ICP源、3區氣體控制單元、光學致動防濺資產（Optically Intacted Splash Protection Asset, OAP）、閉環實驗功能以及自動裝卸模型,可優化蝕刻和灰化工藝結果。