二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374945 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一種最先進的蝕刻器/asher,專為薄膜基板的定向蝕刻和灰化而設計。它是一種既能幹濕蝕刻又能灰化的綜合機器。它具有比同類機器更高的加工速度，可以對敏感基板進行高效、徹底的蝕刻和粉刷。CANON ILD-4100SR適用於幹式和濕式蝕刻以及任何可加工基板的灰化。它能夠蝕刻和灰化各種金屬層，如鋁，鎳和銅具有均勻性和最大效率。它具有水平和垂直的運動控制，可以在短時間內對高基板進行精確、快速的蝕刻和粉刷。ANELVA ILD-4100 SR配備廢氣洗滌器，防止危險化學品在蝕刻和灰化過程中被釋放。此功能可確保快速、安全地完成蝕刻和灰化過程。此外，佳能/ANELVA ILD-4100SR還配備了CCD相機，用於在蝕刻和灰化過程中對基板表面進行精確成像。ILD-4100 SR還具有數字壓力傳感器,可監控工藝氣氛和基板溫度,以幫助優化蝕刻和灰化結果。這樣可以為每個獨特的工藝精確設置精確的蝕刻和灰化參數,從而確保最大程度的工藝輸出。CANON ILD 4100SR是一種可靠、精確的蝕刻器/灰化器，適用於不同的工藝和基板。對於任何需要先進基材蝕刻和灰化系統的人來說，這是一個極好的選擇，可以幫助提高工藝產量和降低運營成本。