二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9398262 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR蝕刻器是一種先進的離子蝕刻裝置，用於精確生產高性能半導體元件。該設備設計用於直接離子註入，以實現矽、鋁等基材材料的高度精密蝕刻。佳能ILD-4100SR具有高精度泵送系統、雙源離子源、三級晶片載體系統和計算機控制等離子面板的大型真空室。適用於平面和非平面幾何形狀的蝕刻，其特征尺寸低至0.1µm，深度為0.2 µm。ANELVA ILD-4100 SR配有獨立控制的機器人手臂和耐熱噴嘴，以確保一致和均勻的蝕刻。機器人手臂確保精確和可重復的運動，而噴嘴由高溫材料制成，以防止高溫過程中的損傷。噴嘴具有可調的引導焦點，防止在蝕刻過程中離子束和基板表面重叠。這有助於以最小的晶圓損壞和一致的蝕刻特性產生高質量的結果。ANELVA ILD-4100SR還具有高速光束快門,用於控制蝕刻的長度。這樣可以確保更短的周期時間而不犧牲質量或性能。此外，可以調整蝕刻室內的屏蔽板，以幫助消除二次離子在蝕刻過程中進入工作區域。這樣可以防止形成不需要的殘留物，從而阻礙所需的蝕刻特性。ILD-4100 SR還具有高級流程監控功能,如參數保護模式、極低電流監控和反饋回路控制器。這樣可以確保最高的蝕刻精度和可重復性。再者，CANON ILD 4100 SR配備了超低噪聲室，以減少電磁幹擾，提供安全的操作環境。總體而言,ILD-4100SR是一個高級蝕刻器/asher,提供卓越的性能和準確性。機械臂、可調噴嘴和參數保護模式的組合有助於提供一致的蝕刻結果，同時減少循環時間。此外,此系統還提供高級過程監控,以確保最高的蝕刻精度和可重復性。