二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9412378 待售

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 9412378
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Oxide dry etcher, 8" 1996 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4100SR是一種最先進的蝕刻器/asher,能夠對表面進行高精度的微結構。這種先進的設備設計,以實現卓越的重復性和均勻性,同時產生優越的質量蝕刻模式。CANON ILD-4100SR利用等離子體DLC(金剛石狀碳)蝕刻工藝,創造出極平坦的表面,具有極好的邊緣清晰度和較低的表面粗糙度。它是一個全自動設備,對蝕刻參數提供出色的控制,以確保一致的結果。ANELVA ILD-4100 SR主要用於微機加工,特別適合於需要高吞吐量和精確度的生產過程。這臺機器可以配置一個標準的激光頭,能夠創建具有出色邊緣質量的微觀結構,並具有像素級分辨率、高選擇性和高精度形狀控制等特點。其它激光頭可用於根據特定的應用來定制機器,例如深度蝕刻和復雜的幾何形狀。CANON ILD 4100 SR采用了獲得專利的電磁制動系統,對蝕刻過程提供精確的控制,確保了可重復的性能。該單元還配備了集成視覺機,用於反饋控制蝕刻內臟。憑借其先進的低壓室和熱電偶反饋回路,ILD 4100 SR能夠在蝕刻過程中保持極其穩定的狀態,產生極好的均勻性和可重復性。此外,該工具還提供先進的安全系統,如真空和氧氣傳感器,用於檢測任何潛在危險,並在檢測到危險情況時自動關閉。ILD-4100SR還包括一個帶有宏編程的設備控制界面和一個觸摸屏顯示屏,可以輕松控制和監控蝕刻過程。CANON ILD 4100SR是需要高精度微結構且具有極好的重復性和均勻性的生產工藝的理想選擇。憑借其精密的控制和先進的安全功能,它是精確應用程序的理想選擇,可提供一致和可靠的結果。
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