二手 CANON ANELVA ILD-4100W #9158758 待售

CANON ANELVA ILD-4100W是一種高精度晶圓蝕刻器/asher，設計用於執行高級蝕刻和灰化工藝。此過程可精確控制蝕刻結果的層厚度和特征大小。ILD-4100W采用先進的ICP（感應耦合等離子體）技術來精確控制各種底物的反應參數。該系統具有堅固耐用的結構和獨特的易於操作的設計,可確保高速運行和易於維護。該設備由ICP源、電極和晶圓支撐組成。ICP源通過射頻信號為等離子體供電。這樣就產生了強烈的等離子體放電，有利於蝕刻具有亞微米特征尺寸的晶片。ICP源還提供多種功率級別,可以輕松調整以微調蝕刻屬性。電極用作施加射頻電壓的主電極。它生成原始蝕刻路徑到正在處理的基板上。最後，晶片支撐將基板固定在系統中，同時進行蝕刻過程。Anelva CANON ANELVA ILD-4100W還提供了對蝕刻速度和一致性以及蝕刻選擇性的精確控制。這使得它非常適合各種苛刻的應用,如MEMS制造、半導體生產、PCB加工以及精密晶圓制造。該裝置能夠處理單晶片和多晶片基板，並且能夠適應鋁、矽、陶瓷、金屬等多種材料。再者，ILD-4100W可以配置多種附加組件，如氣箱、真空箱、氣體傳感器、單晶圓傳遞室、雙工室、氣體過濾器等等。這些附加組件允許用戶進一步定制流程以滿足其需求和要求。此外,系統還具有直觀的LCD屏幕,便於操作和監控。CANON ANELVA ILD-4100W對於那些在工業和學術應用中需要精確、可靠的蝕刻器/asher的用戶來說是一個極好的選擇。其先進的技術特點確保了單晶片或多晶片操作的高性能結果。這使得它成為許多需要高精度蝕刻和灰化工藝的行業和學術應用的理想選擇。