二手 CANON MAS 8220 #9157615 待售

佳能MAS 8220是一種串聯軸電化學蝕刻/灰化設備，能夠同時處理多達30個晶圓。適用於多種蝕刻和灰化工藝。該系統采用兩階段蝕刻工藝，包括預蝕刻和後蝕刻（分別），旨在確保高長寬比結構的精密蝕刻。預蝕刻經過量身定制,能夠創建深而精確的高縱橫比結構。包含一個直觀的軟件控制單元,用於操作和監視蝕刻和灰化過程。CANON MAS-8220采用雙高性能、獨立蝕刻和灰化容器,每個容器都有自己的專用電源。電源分布：直流電、交流電和脈沖直流電,分別控制在每個容器上。這樣可以精確控制每個容器的功率，保持穩定的蝕刻速率和適當的蝕刻速率轉變。蝕刻參數是可定制的，包括蝕刻變量，如工藝時間和溫度，以及蝕刻試劑、濃度和額外的催化劑試劑。MAS 8220有一個創新的過濾機器，它使用高精度過濾器，以確保試劑從任何微粒。過濾工具還用於回收試劑並延長試劑的使用壽命。此外，該資產還具有內置的化學冷卻和加熱模型，有助於在蝕刻過程中保持溫度平衡，控制過程溫度。MAS-8220包括多達99種可編程的過程模式,從而實現最大程度的過程靈活性和量身定制的過程控制。該設備的設計還使其能夠用於濕式長凳或煙霧罩中，從而實現用戶的最佳安全。該系統還提供了廣泛的流程控制選項，從簡單的手動設置到全自動流程序列。此外,還可以對設備的軟件進行編程以監視和維護所需的蝕刻參數。CANON MAS 8220使實驗室和生產設施能夠實現一系列應用的高精度和準確性,這些應用包括：半導體器件光刻、薄膜器件加工、MEMS器件制造、生物化學應用等。機器的直觀操作和精密蝕刻能力使其成為要求苛刻的工業和實驗室環境中高級用戶的理想選擇。