二手 CHEMCUT 610 #149017 待售

CHEMCUT 610是一款高效的中型化學機械平面化（CMP）設備，用於電子和半導體行業。該系統專門設計用於電介質的蝕刻和粉刷，包括二氧化矽、氮化矽和低k電介質。它具有高達330mm的廣域大小和每小時12個晶圓的吞吐量。610的設計更容易實現高精度和重復性的良好平面化。它具有先進的特點，包括壓力平衡框架，確保整個區域的蝕刻深度一致；以及提供卓越CMP清潔的同步高壓沖洗裝置。CHEMCUT 610還有一個閉環控制機器和軟件套件，保證了過程的準確性，使客戶能夠以最高的可重復性和準確性蝕刻臨界層的電介質。610具有用戶友好的操作和維護功能,可減少停機時間並提高工作效率。它具有直觀的圖形用戶界面,以及自動校準過程,能夠對電介質的蝕刻和灰度進行精確的過程優化。它還配備了兩級DI/DI級聯過濾，以確保清潔工藝液體和防止汙染。此外,CHEMCUT 610具有堅固可靠的設計,可確保長時間有效且無故障的操作。它旨在處理各種具有化學侵略性或危險性的化學品，包括氟基蝕刻和幹性蝕刻氣體。這使客戶能夠以最大的信心創建高度復雜和復雜的結構。總體而言,610是一種極好的產品,它以最低的成本提供卓越的電介質蝕刻和灰化。它使用簡單,但提供高級功能,使其成為要求苛刻的蝕刻和灰化要求的半導體和電子公司的理想選擇。