二手 CI SCIENCE Torus 200 #293585731 待售

CI SCIENCE Torus 200是來自Confluence International, Inc.它能夠處理200毫米以下的基板尺寸，並具有一個自上而下的圓柱形對流蝕刻室、一個用於精確基板定位和移動的x/y/z平臺、一個用於高效和安全廢物處理的電動蓋子以及用於過程自動化的專有軟件。系統為用戶提供了從單面或雙面蝕刻中進行選擇的功能,以及從標準和用戶定義的工藝配方中進行選擇的選項。該單元可用於多種基板的蝕刻和灰化，包括晶體多晶矽（CPS）基板，經常與高能離子束儀器和束光刻結合使用。圓環200設計用於容納各種尺寸的基板，有一個可編程基板支架提供控制，精確的運動沿著x和y軸。此外，CI SCIENCE Torus 200的高溫能力使得鋁、鈦、不銹鋼等材料能夠高效蝕刻和粉刷。該機配有提供調降隔離的內部鼓風機、外部安裝的冷凝液罐、高效過濾以及用於自動疏散的遠程清洗/排氣口。此外,安全功能還包括遠程手動氣體關閉開關和面板安裝的緊急停止開關。此外,工具背面的四線接口連接可實現遠程控制,允許用戶通過PC或任何其他兼容的外部設備訪問蝕刻和灰化功能。