二手 CI SCIENCE Torus 300K #9352899 待售

CI SCIENCE Torus 300K是一種最先進的蝕刻器/asher（快速熱處理系統），可用於微制造和微電子生產。它是為快速、準確地開發薄膜應用而設計的。這臺機器能夠執行許多熱過程，如退火、氧化、擴散、蝕刻、沈積和灰化。Torus 300K具有幾個不同的特點，使其成為微電子生產的理想選擇。它有一個特殊的圓柱形加熱室，可以適應和適應不同的高度要求，同時保持高精度。它還有一個自動晶片支架，可以自動對齊每個晶片以實現極其精確的對齊。300 K的關鍵要素之一就是其高效加熱。加熱方法基於主動和被動元素的組合，有助於均勻加熱腔室並保持溫度的一致分布。有源元件是一種感應線圈，能快速均勻地加熱腔室，而無源元件是一種特殊類型的絕緣材料，有助於更均勻地分配加熱功率。結果是更快的溫度時間（高達30%的速度）和很好的溫度可重復性-即使使用了大量的材料。蝕刻器/粉碎器的清潔效率也很高。它可以用於高達600納米每分鐘的清潔速率，使其成為許多超精細應用的理想選擇。此外，它還可以與熱等離子體或高壓化學清洗一起使用，用於困難和大體積的碎片。此外,CI SCIENCE Torus 300K還具有高水平的過程控制功能,允許用戶通過專用軟件包監控和調整溫度。這樣可以更輕松地確保最佳溫度控制和可重復性,並使用戶能夠針對不同的制造任務優化工藝參數。總而言之，Torus 300K是快速準確發展薄膜應用的絕佳選擇。其先進的加熱和清潔特性以及先進的工藝控制，使其成為微電子生產的高效機器。