二手 CI SCIENCE Torus 300K #9373223 待售

CI SCIENCE Torus 300K是一款專門為高通量半導體加工而設計的蝕刻器/asher。這臺設備能夠每批處理多達300個晶片，允許同時快速處理多個設備。該系統的主要部件是工藝室、粒子測量單元、溫度控制和微控制器。該工藝室的設計是用一系列過濾器最大限度地減少表面汙染，而粒子測量機則有助於確保晶圓在加工前沒有任何顆粒。溫度控制是控制工具溫度所必需的，它利用先進的PID控制算法實現了較高的精度。微控制器用於控制整個資產，允許對所有組件進行精確控制。該型號配備了高頻射頻發生器，允許實現高長寬比蝕刻，而使用可選的可編程源允許為重復過程生成復雜的配置文件。該設備還配備了多區排氣系統，允許每次工藝運行後對真空室進行改進清洗。該裝置還配備了可選顯微鏡，允許在加工後的晶片運出前對其進行目視檢查。此外，該機器還提供了一個自動調度和記錄工具，以便於跟蹤和分析過程。該資產的靈活性允許一臺機器同時利用濕蝕刻和幹蝕刻過程,而其低成本維護使Torus 300 K成為任何高通量環境的理想選擇。憑借其高效的設計和可靠的性能，CI SCIENCE Torus 300K為任何半導體制造工藝提供了無與倫比的價值主張。