二手 CI SCIENCE Torus 300K #9402271 待售
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CI SCIENCE Torus 300K是一種先進的電子束光刻設備，專為工業級蝕刻和灰化應用而建造。該系統具有獨特的功能組合,涵蓋從超高分辨率到高生產率的廣泛蝕刻要求。該單元包括一個強大的中能電子槍，一個多軸級，一個高度敏感的光學成像組件，和一個先進的計算機控制機器。該槍產生高能光束，沖擊被蝕刻的基材表面，造成微小的鋸齒狀侵入。圖像分量捕獲由梁生成的線型,而多軸級允許精確定位梁以創建陣列。Torus 300 K在蝕刻時可達線/空間分辨率低至10納米，在ashing時可達5納米。它還具有優化蝕刻的脈沖能力和在一個通道內產生不同深度的多層的可變通過工具，包括用於編程定制模式和自動化過程的特殊軟件，確保快速和準確的蝕刻，以及在多次運行中的出色重復性。該模型適用於多種應用，從MEMS等微量制造到3D打印。它用途廣泛，是研究和商業生產的強大工具。CI SCIENCE Torus 300K還附有一個壓力室，可在真空和其他類似低壓環境下運行。總而言之,它是一個功能強大且先進的工具,旨在滿足任何蝕刻和灰化要求。
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