二手 CORIAL 300 iL #293634078 待售

CORIAL 300 iL是一種緊湊、高通量、低成本的反應性離子蝕刻（RIE）asher設備。300 iL使用具有廣泛參數的專有交流頻率,允許廣泛的應用。該系統具有高長寬比蝕刻能力，工藝可重復性好，晶圓處理性好。CORIAL 300 iL提供了處理所有可用材料的靈活性,包括但不限於聚合物、金屬、氮化物、氧化物和電介質。這個先進的原子尺度蝕刻單元具有直觀的圖形用戶界面，具有全面的配方構建功能，允許用戶自定義自己的蝕刻配方。它還具有可視化晶片映射和自動晶片跟蹤機，提高了可重復性，消除了手動過程控制的需要。300 iL具有快速、高量子效率和低壓（0-1 V）離子槍微波發生器的精密蝕刻能力。CORIAL 300 iL配備了高性能渦輪泵，能夠實現5x10-7 torr的真空，具有較高的蝕刻速率。它還有一個顆粒過濾工具，以確保最高水平的清潔。內置的安全功能包括氣體泄漏檢測器、壓力過載互鎖以及消防和氣體安全開關，提供了安全的操作環境。此外,300 iL還提供多種工藝配方和翻新選項,最多可擴展三個腔室。CORIAL 300 iL是批量生產高科技部件，如MEMS等微電子設備的理想反應性離子蝕刻器/asher。它操作簡單，性能一致，是工業研發和生產設施的寶貴工具。