二手 CORIAL 300 iL #293671933 待售

CORIAL 300 iL 蝕刻器/asher是一種高精度、全自動的多室工具,用於在多種材料中創建有圖案的表面。它專為電子顯微鏡、醫療設備、MEMS、微電子等多個行業的高性能、金屬元件的生產而設計。300 iL提供了廣泛的特性，包括多個處理室、不同的蝕刻和沈積氣體、集成的OES和質譜，以及精確的溫度和壓力控制。它還具有多級觸摸屏界面,可輕松訪問所有系統設置和控件。CORIAL 300 iL配備了一個單一的多級蝕刻室，能夠使用最多三個氣源蝕刻直徑達300 mm的樣品。蝕刻室配有用於監測反應的集成OES系統和用於測量蝕刻物種類組成的多級質譜儀。該室還配備了可編程溫度和壓力控制，以達到最佳蝕刻條件。300 iL還提供高精度沈積室，能夠沈積直徑達300 mm、厚度達3mm的金屬膜。沈積室還配有多級質譜儀，可對沈積參數進行精確控制。該腔室還可用於沈積物料的真空退火。CORIAL 300 iL是生產高精度、高品質元件的理想選擇，在多種應用中提供卓越的性能。它易於使用且用途廣泛,提供了廣泛的蝕刻和沈積過程,以創建復雜且高性能的組件和系統。