二手 CORIAL 300 iL #293695744 待售
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CORIAL 300 iL是一款高性能的蝕刻和asher設備。它旨在為各種蝕刻和灰化應用程序提供出色的靈活性和廣泛的功能。300 iL獨特的設計特別適合各種材料的蝕刻和灰化，從鋼到玻璃、陶瓷和半導體基板。該系統配備了先進的光學和幹蝕刻技術，提供了優越的單元架構和過程控制。CORIAL 300 iL具有等離子體源,可實現從低射頻功率到高射頻功率的寬蝕刻窗口。rf-source被永久地整合到機器中，提供使用專用控制軟件的快速輕松的工具激活和配方設置。300 iL還能夠快速熱退火。它具有一個熱板，加熱到700°C結合快速響應時間。這樣可以穩定溫度並提高工藝的可重復性。資產還具有高不透明度保護濾鏡,在蝕刻和灰化過程中屏蔽光學元件。這樣可以確保模型的耐用性,從而最大限度地降低操作員的維護成本。揮發性有機成分（VOC）的還原也是CORIAL 300 iL的關鍵特征之一。封閉的工藝室允許更高水平的工藝自動化和減少溶劑為基礎的後清洗過程。設備還配備了遠程診斷和遠程服務功能，可實現較高的正常運行時間並降低維護成本。300 iL提供了廣泛的ICP-CF4-etched配置文件和蝕刻均勻性。其用戶友好的操作和強大的過程控制功能，使其成為適用於各種蝕刻和灰化應用的工具。
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