二手 CORIAL 300 iL #293818173 待售

CORIAL 300 iL是為精密薄膜處理而設計的高性能蝕刻和灰化設備。該系統旨在實現蝕刻和灰化過程中的最高精度,同時保持出色的過程控制。它具有高能聚焦離子束（FIB）源，為基板提供精確的束離子流。FIB還使金、銅、石墨、矽等多種材料的加工精度極佳。此外,它還具有獲得專利的高級配方技術（ART）,可實現高位置精度的陣列。對於灰化，300 iL利用微波射頻和快速加熱的蝕刻室，以提供快速和高效的去除光刻膠等材料。該機組還擁有高效的冷卻機，以確保蝕刻或灰燼工藝在理想溫度下完成，從而獲得最佳性能。此外，CORIAL 300 iL能夠在多種模式下運行，包括並行蝕刻和灰化，順序蝕刻和灰化，以及高蝕刻速率。這種靈活性使得它非常適合微電子中細線圖案和器件結構的制造等應用。此外,該工具還提供易於使用的圖形用戶界面（GUI）,用於控制每個流程步驟,並配備了功能強大的微處理器和板載計算機,以增強實時流程控制。300 iL是執行精密蝕刻和灰化過程的可靠工具。它結合了高離子束強度、快速微波灰化、可靠的冷卻資產和先進的配方技術，確保了可靠的工藝控制和優異的均勻性。此外，該模型完全可配置，能夠適應現代制造工藝不斷變化的要求。