二手 CORIAL 300 iL #9258052 待售

CORIAL 300 iL是為光刻應用而設計的最先進的蝕刻/asher設備，提供出色的分辨率、卓越的精度和廣泛的工藝能力。這種全自動解決方案經過精密設計,可為行業和研究應用程序提供最大的質量和效率。300 iL利用高級本地化軟件開發可定制的配方,以準確控制和監控所有蝕刻/灰化過程參數。它具有集成的等離子體源，能夠完全控制等離子體環境，以及卓越的均勻性控制。這些功能結合在一起,實現了比競爭系統好幾倍的層均勻性。CORIAL 300 iL由先進的兩級系統Boost Control （SBC）提供動力,可大大擴展過程穩定性並提供高度可預測的蝕刻/灰化性能。SBC技術包括快速優化加工參數的自動調諧功能和根據材料特性調整蝕刻/灰化時間的自適應控制單元。這樣可確保流程性能保持一致並產生可重復的結果。300 iL還具有智能安全系統，包括四層緊急停止硬件，以保護機器操作員，防止設備損壞。該工具還有一個內置的多室選項，為多步蝕刻/灰化過程提供了充分的靈活性，允許在同一個工具內分離不同的進程。綜上所述,CORIAL 300 iL為精密蝕刻/灰化提供了無與倫比的解決方案。其先進的本機化軟體、兩階段資產Boost Control以及智慧型安全系統，確保了一致可靠的效能，而其多室選項對於多個蝕刻/ashing步驟極為通用。出色的精確度、精確度和工藝靈活性相結合,使300 iL成為一款出色的蝕刻器/asher型號。