二手 CORIAL 300 iL #9267214 待售

CORIAL 300 iL是一款高性能的蝕刻器/asher，適用於廣泛的微電子應用。蝕刻器/asher的設計滿足各種光刻蝕刻要求，利用包括鋁、鎢、聚酰亞胺、銅和矽在內的多種材料和蝕刻。300 iL可用於加工尺寸不超過750 mm的基板，工藝溫度不超過200 °C，推進劑壓力不超過850 mbar。蝕刻器還具有精確的溫度控制功能,允許加工精度高達0.03 °C ±。模塊化工藝室的設計確保了可靠、高質量的結果，均勻度標準為+/-0.9%的負載，並實現了全氮化物隔離，從而提高了蝕刻質量。CORIAL 300 iL結構堅固，適合長期使用，具有獨立加工區域的循環式配置，可同時用於不同的基材和蝕刻。該蝕刻器還具有一個隔離的FPT可切換氣體進料面板，可快速改變氣體，最大程度地減少停機時間。300 iL配備了全套用戶友好的工藝軟件，使調試和專家操作變得輕松方便。過程控制軟件包括集成的過程配方、有效的周期時間優化、通用參數映射以及高級流量控制。CORIAL 300 iL是一款先進的蝕刻器/asher,具有出色的工藝性能和可靠性,適合高端工業和研究應用。它為包括矽片和MEMS元件在內的基板蝕刻提供了高度的靈活性和功能。