二手 CORIAL 300 iL #9272935 待售

CORIAL 300 iL 蝕刻器/asher專為高吞吐量應用而設計,具有優異的傳輸特性。它具有一個寬300毫米的加工室，帶有8個負載鎖，並配有24個晶片適配器機器人，方便晶片裝卸。300 iL還配備了用於流程接口的多個通信接口和靈活的配方配置,使其能夠適應各種蝕刻和灰化過程。CORIAL 300 iL專為高精度工藝而設計,具有多種自動功能,可確保一貫的高蝕刻均勻性。其先進的電機控制系統以最小的振動和熱失真保證了高速和精度。較高的吞吐量速率可縮短流程時間,提高總體吞吐量。300 iL支持各種工藝氣體和化學物質，如氧氣（O2）、氮（N2）、二氧化碳（CO2）、氙氣（Ar）和矽烷（SiH4）。CORIAL 300 iL全自動,對壓力、溫度和真空進行自動控制。它配備了自動氣流控制系統，在蝕刻和灰化過程中進行精確、可重復的動態控制。腔室設計方便進入加工腔室，並提供有效的氣體密封，使其使用安全高效。300 iL還提供了減少的工藝測量以及最小化的停機時間。它包含了壓力和泄漏監控等多種安全功能,可輕松集成到現有的生產環境中。該系統的多種通信接口提供了其他系統之間以及與主機的輕松通信,從而實現了高效的自動過程控制。總體而言,CORIAL 300 iL 蝕刻器/asher是尋求高精度蝕刻和灰化工藝的用戶的絕佳選擇。它的高級功能確保了持續的高蝕刻一致性,並顯著減少了過程時間和停機時間。此外,它的多個通信接口使您能夠輕松集成到現有的生產環境中,並提供高效的自動過程控制。