二手 CORIAL 300 iL #9272940 待售

CORIAL 300 iL端點蝕刻器/Asher是為晶圓蝕刻和剝離行業設計的精密批量asher。300 iL是一種自動化、全封裝、低振動、低氣體熱裝置,能夠對蝕刻和清潔材料進行非常嚴格的過程控制。該設備具有位於中央的專利多向噴嘴系統和大容量SiC加熱器。CORIAL 300 iL端點Etcher/Asher提供了許多功能,這些功能旨在提高設備上過程的吞吐量和質量。該單元能夠提供一個極其可重復的端點,可能的誤差低至0.1 μ m/cm。存儲在內存中的8個可編程區域和多達10個工藝配方,300 iL提供了傳統批處理分機無法比擬的靈活性和精確度。機器還提供了整個基板上溫度均勻度± 2°C和溫度範圍為2°C至200 °C的可能性。可在CORIAL 300 iL範圍內使用的工藝氣體包括氮氣、氙氣、甲酸和丙酮等。該工具配有惰性氣體供應和凈化機制，確保每種工藝配方都用新鮮氣體沖洗資產，從而提供最高水平的汙染控制。300 iL還具有多項安全功能,包括緊急停止、氣體和電源關閉,以及低電壓、高電流的回火關閉開關。該模型還具有可聽和視覺警報功能,以警告操作員任何警報情況。該設備采用耐用的CERTACHROM不銹鋼制造，而且配置性強。系統上可以安裝各種晶圓支架,並且可以使用CORIAL 300 iL的以太網連接將設備集成到客戶現有的基礎架構中。總之，300 iL端點蝕刻器/Asher為蝕刻和剝離行業提供了靈活、高精度和安全的解決方案。CORIAL 300 iL具有出色的精度、可重復性和溫度控制,非常適合任何需要控制、定位或多步蝕刻或剝離的工藝。