二手 CORIAL 300 iL #9272962 待售

CORIAL 300 iL是一種高功率感應型等離子體蝕刻器和asher設備。該系統采用專利感應型等離子體發生器，提供比傳統電容耦合系統更高的等離子體電離水平，從而提供卓越的性能和可靠性。因此，它已被證明對各種材料的蝕刻和灰化都是有效的。300 iL具有緊湊、形成脈沖的發生器，可精確控制氣體輸送，產生穩定和均勻的等離子體密度，並提供極其光滑和可重現的等離子體輪廓。發電機還支持多種氣體種類和氣體，允許用一個單元進行蝕刻和灰化。蝕刻室裝有全真空負載鎖，可實現快速高效的樣品裝卸。該室還采用多級抽油機，用於快速、均勻、穩定的樣品蝕刻和灰化。它還有一個氣體混合歧管，以確保一個一致和可重復的過程。CORIAL 300 iL提供了下一代感應式等離子體蝕刻和灰化體驗，非常適合需要高精度和重復性的半導體工藝。該工具具有出色的工藝控制、高通量和高效的氣體處理性能,可滿足所有蝕刻和灰化要求。