二手 CORIAL 300 iL #9272964 待售

CORIAL 300 iL是先進的幹式等離子體蝕刻器/灰化器，是先進的微米級器件結構設計的理想選擇。它具有獨特的雙梁結構，能夠同時蝕刻/結晶2個獨立的基板。300 iL是半導體、電介質、抗蝕劑、氧化物層和太陽能電池中高長寬比結構的完美工具。其獨特的雙梁架構由兩個源腔組成，每個源腔彼此隔離，但連接到同一個真空腔。每個源腔都有不同的源氣體--一種用於蝕刻，一種用於結晶，具體取決於手頭的工藝。兩個氣源通過一對多級高真空泵泵送，產生超高真空壓力（UHV）水平，保證了高工藝重復性。CORIAL 300 iL使用RF（射頻）發電機為光束的電離提供激發能量。此射頻發電機非常穩定,可設置為以高功率（2 kW）或低功率（400 W）模式運行,具體取決於您的工藝要求。300 iL為源氣體成分提供了廣泛的操作範圍，可與任何類型的工藝氣體一起使用。CORIAL 300 iL配備了先進的精密控制電子設備，可以在蝕刻深度和特征尺寸上精確調整蝕刻時間、重復性和精度。基板臺和源站的溫度都可以設置到適當的水平,以確保整個設備結構的精確溫度控制。這使得300 iL非常適合於諸如薄膜沈積等工藝，以及材料生長和擴散工藝。此外，CORIAL 300 iL內置安全系統，確保操作員和機組的安全。萬一出現緊急情況，機器自動關機，真空室中所有殘留物料安全撤離，工具才能重新啟動。300 iL是高級蝕刻/結構應用的最佳選擇，適用於所有研發和生產過程。這種功能強大的設備旨在提供高精度的蝕刻和結晶,具有出色的可重復性和穩定性,並且肯定是任何潔凈室設施的寶貴補充。