二手 CORIAL 300 iL #9272971 待售

CORIAL 300 iL是部署在半導體行業的先進蝕刻和灰化裝置。其平臺提供了高精度和重復性的短蝕刻和灰度循環，產生了高質量的表面光潔度。CORIAL 300是為各種蝕刻和灰化需求而設計的，從單晶晶片到多點光敏塗層的灰化。CORIAL 300可以完成多種工藝，包括氯基蝕刻、矽蝕刻和離子銑削。CORIAL 300的平臺還提供了出色的過程重復性。蝕刻和灰化工具配備了精密的冷卻系統，即使在改變蝕刻條件時也能保持加工溫度。這允許操作員在一系列條件下保留相同數量的站點。CORIAL 300還具有全面的灰化能力和防止晶圓間交叉汙染的內置功能。300 iL的標準腔室尺寸為600 x 600毫米，布置主腔室時公差為1微米。其自動化的四步過程包括預清潔、蝕刻步驟、後蝕刻清潔和後蝕刻灰泥。該過程由一系列可編程的邏輯控制器控制，這些控制器可以被編程成完美地執行序列。CORIAL 300由三相交流輸入方便供電，在0.5千瓦以下功耗最低。CORIAL 300的工作環境溫度在15°C至40°C之間，相對濕度在10-90%之間。CORIAL 300還提供低噪聲操作，聲壓水平僅為62 dBA，距離1米。為了保持CORIAL 300在高峰狀態下運行，操作人員在必要時應進行維護。為了使CORIAL 300保持最新,應定期更新其軟件以確保最佳性能。總體而言，CORIAL 300 iL是一種先進的蝕刻和灰化裝置，能夠提供出色的過程重復性和高質量的結果。其精密的冷卻系統、自動化的四步工藝、低噪聲操作，使其成為半導體行業的理想選擇。