二手 CORIAL D500 #9386289 待售

CORIAL D500是一種蝕刻/灰化設備,其設計精確度非常高,可滿足高端組件的苛刻處理要求。它是一個緊湊而堅固的系統,可提供出色的重復性和過程控制,並且可以根據各種過程要求進行定制。該單元由一個高精度的模塊化單層或雙層真空室和保形塗層組成，以避免微粒沈積。該機還配備了用於閉環控制的精確溫度和壓力傳感器，允許高效準確的工況監控。D500晶片蝕刻器，是一種多用途工具，能夠蝕刻各種基材，包括矽片、二氧化矽、石英、鋁、半絕緣基材和絕緣材料。該工藝還可以適合於蝕刻介電層和TSV（透過Silicon Via）結構的多層結構。該資產可配置低壓或高壓蝕刻工藝，還支持自動晶圓處理和基板預處理。模型設計還允許一個可互換的工藝室，用於具有侵略性化學特性的工藝，如濕蝕刻、深層蝕刻以及使用氯氣或AJA蝕刻的可能性。該設備采用超細運動映射技術，提供快速、精確的蝕刻工藝，確保圖樣晶片和模板晶片之間的工藝匹配成功。CORIAL D500配備了先進的口罩對準技術，用於將圖案化的基材與蝕刻口罩進行精確的叠加對準。這有助於在單面或雙面基板上進行準確和可重復的蝕刻過程。此外，系統還有一個過程中缺陷監測單元，以提高蝕刻精度和可重復性。D500適合於冷凍和幹蝕刻的研發應用以及低批量、高批量生產。該機具有獨特的特點，具有高精度、高精度、魯棒性和優良的工藝控制。CORIAL D500是現代半導體工業具有挑戰性的工藝要求的理想選擇。