二手 DENTON VACUUM DFE 3 #126422 待售

DENTON VACUUM DFE3是一種多功能的高速蝕刻器/asher,專為一系列蝕刻和灰化應用而設計。它具有低成本和優良的工藝質量，使其成為許多生產線的高效選擇。DFE 3配備了12英寸的蝕刻和灰化室，與包括氮氣、氧氣、氙氣和氫氣在內的多種加工氣體兼容。這使得它非常適合各種蝕刻任務。此外,該設備在蝕刻和灰化過程中都具有高質量的可重復性和可重復性。DENTON VACUUM DFE3提供了先進的工藝控制技術.這包括反饋回路系統、可調流量閥和全溫度控制協議等功能。這樣就可以根據客戶的需要改進流程,從而提供最終的流程控制。該裝置還配備了兩個獨立的工藝氣體閥，用於精確控制蝕刻和灰化過程。這一特點得到了堅固的真空室的補充，該真空室能夠達到從1微米汞到10-7微米的低壓。最後，DFE 3還提供了一系列輔助工具，如負載端口和樣品拾取銷，以及類似流體的精密運動控制機。綜上所述,DENTON VACUUM DFE3是一種可靠、經濟高效的蝕刻器/asher,可提供高質量的結果、可重復性和可重復性。它采用了一系列先進的工藝控制，允許精確的蝕刻和灰化工藝。此外，它還能夠在真空室中達到低壓，並提供一系列附件以提供終極的工藝控制。