二手 DIENER ELECTRONIC PFH 188 #293809318 待售

DIENER ELECTRONIC PFH 188
ID: 293809318
Plasma system Tetra 30µW.
DIENER ELECTRONIC PFH 188是一款尖端蝕刻/asher設備,設計用於半導體、微電子和材料科學行業中精確高效的等離子體處理過程。這種功能強大的設備提供了先進的特性和能力,以滿足現代研發應用的苛刻要求。PFH 188的核心是其高性能等離子體源,它為表面改性和清潔過程產生了高反應性等離子體環境。該系統利用不同氣體的組合,如氧氣、氙氣和氫氣,創造出適合廣泛應用的量身定制的等離子體化學體系,包括蝕刻、灰化、表面活化和薄膜沈積。DIENER ELECTRONIC PFH 188中的等離子體源配備了最先進的RF(射頻)電源,確保了整個處理室穩定且均勻的等離子體產生。這種對等離子體參數的精確控制使用戶能夠獲得可重現和一致的結果,這對於過程重復性至關重要的研究和生產環境至關重要。PFH 188具有多功能的加工室,具有較大的工作區域,允許處理各種樣本量和配置。該腔室配有可靠的真空泵和壓力控制系統,以高效疏散大氣,創造有利於有效等離子體處理的受控加工環境。為提高用戶的便利性和生產率,DIENER ELECTRONIC PFH 188配備了直觀、用戶友好的界面,用於編程和監控流程參數。該單元提供了一系列可定制的選項,用於調整等離子體功率、氣體流速、處理持續時間和其他參數,以根據特定應用和樣品要求量身定制工藝。此外,PFH 188還采用了先進的安全功能,以確保操作員在等離子體處理過程中的保護和設備完整性。這些安全機制包括聯鎖、氣體泄漏探測器、超壓傳感器和緊急關機系統,保障人員和防止實驗室環境中的事故。在性能方面,DIENER ELECTRONIC PFH 188提供卓越的蝕刻和灰化功能,可精確控制材料的去除速率、表面粗糙度和選擇性。機器能有效地從基板上清除有機汙染物、光刻膠、氧化物等不需要的層,留下適合後續加工步驟的幹凈、清晰的表面圖樣。總體而言,PFH 188代表了先進等離子體處理應用的前沿解決方案,將堅固的構造、高性能的組件、用戶友好的操作以及先進的安全功能結合到一個通用可靠的平臺中。無論是在研究機構、大學還是工業設施中,這種蝕刻/asher工具都提供了必要的工具和能力,以推動微電子學、納米技術和材料科學領域的創新和進步。
還沒有評論