二手 DIENER ELECTRONIC Tetra 45 #293801545 待售
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ID: 293801545
Plasma system
Connections:
Gas: Swagelok, 6 mm
Power: 400 V, 16 A
Cable, 5 m
Exhaust: 38 mm
Tube, 5 m
Gas supply:
Mass Flow Control (MFC)
(3) Channels
Material: Stainless steel / Aluminium
Tolerance: 1%
Vacuum chamber:
Rectangular chamber with drawer
Material: Aluminium
Covering material: Aluminium glass panel
Volume: 45 L
Generator:
Frequency / Power
80 kHz / 0-1000 W
100 kHz / 0-500 W
13.56 MHz / 0-300 W
2.45 GHz / 0-850 W
Vacuum pumps:
LEYBOLD D65BCSPFPE Rotary vane pump
Exhaust filter
Suction power: 65 m³/h
Oil type: PFPE-Oil
RIE Electrode with gas shower
Pirani pressure gauge
Touch screen, 15"
PC
Operating system: Windows 10
Power supply: 400 V, 3 Phase, 50/60 Hz.
DIENER ELECTRONIC Tetra 45是在各種研究和工業應用中為精密等離子體處理而設計的尖端蝕刻/asher設備。此高級工具提供了一系列特性和功能,使其成為用於蝕刻、表面處理和清潔過程的通用且高效的解決方案。Tetra 45的關鍵亮點之一是它的等離子體生成和控制系統。該單元利用先進的射頻(射頻)技術,創建一個穩定、均勻的等離子體,可用於廣泛的處理技術。利用可調節的功率水平和工藝參數,用戶可以微調等離子體特性,為自己的特定應用達到最佳效果。DIENER ELECTRONIC Tetra 45還具有堅固的真空室設計,可確保可靠和可重復的加工條件。腔室配有高質量的材料和精密部件,以盡量減少汙染,確保清潔的加工環境。這使機器能夠提供一致的結果,並隨著時間的推移保持較高的流程可重復性。除了先進的等離子體生成能力外,Tetra 45還提供了一系列工藝氣體和控制選項,以適應各種材料和應用。使用者可以從各種氣體中選擇,例如氧氣、氙氣和反應性氣體,針對特定蝕刻或表面改性要求量身定制等離子體化學。該工具還具有精確的氣流控制和壓力調節機制,以確保準確和可重現的加工條件。此外,DIENER ELECTRONIC Tetra 45配備了最先進的溫度控制資產,能夠在加工過程中精確管理基板和腔室溫度。這一特性對於控制蝕刻反應的速率和均勻性以及避免對敏感材料的熱損傷至關重要。該型號的溫控能力有助於整體工藝穩定性,使用戶能夠始終如一地取得高質量的效果。Tetra 45的另一個關鍵優勢是其用戶友好的界面和軟件控制設備。該系統配備了直觀的軟件,使用戶可以輕松編程和監控處理參數。軟件界面提供實時數據可視化、流程監控和診斷工具,幫助用戶優化流程並快速排除任何問題。此外,DIENER ELECTRONIC Tetra 45的設計便於維護和維修,具有易於訪問的組件和模塊化設計功能,可簡化設備的維護和維修。該機器的高質量結構和耐用部件有助於其使用壽命和可靠性,確保了長期的性能和運行效率。總體而言,Tetra 45是一款尖端的蝕刻器/asher工具,提供先進的等離子體處理功能、精確的控制選項和用戶友好的功能。憑借其多功能性、可靠性和性能,DIENER ELECTRONIC Tetra 45是尋求高質量等離子體處理解決方案的研究人員和行業專業人士的寶貴工具。
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