二手 DIONEX 2000 #9096845 待售

DIONEX 2000是專門為半導體制造中金屬元件的超低溫蝕刻和灰化而設計的蝕刻器/灰化器。該設備能夠將溫度保持在-180°C至+1600°C之間,並具有許多工藝控制選項,例如多級溫度區、氣流、壓力控制和氣體清除功能。系統的主要部件包括真空室、泵和洗滌器、工藝電極、加熱器和控制器、泵出過程控制、冷卻裝置和其他硬件組件。該裝置還設有一個計算機控制的顯示器，用於監測工藝參數，以及一臺數據采集機，用於記錄每個工藝的溫度、壓力和其他值。真空室配有氣體輸入、電極和石墨船，能夠有效地裝載基板和檢查樣品工程。該工藝電極有利於蝕刻或灰分工藝,而加熱器提供均勻的溫度分布.冷卻裝置使腔室的溫度保持恒定。2000年的控制工具在溫度精度和控制方面允許高度的精確度。多個溫度區域提供了整個腔室的精確控制剖面,允許根據需要編程不同的溫度剖面。腔室壓力也可以精細控制，腔室可以根據需要用惰性氣體清洗。該室還配備了一些安全功能，包括緊急停車控制和氣體清除選項。此外，該資產的設計符合國際標準組織和歐盟的安全要求。DIONEX 2000是需要超低溫蝕刻和金屬灰化的應用的理想選擇。其智能控制模型確保了精確的溫度控制和壓力水平，使其成為一種極其可靠的半導體制造設備。其安全特性、高性能和易於操作，使其成為各類蝕刻和灰化工藝的理想選擇。