二手 DIONEX PM 11020 #9245096 待售

DIONEX PM 11020是一種蝕刻器/asher，設計用於化學和半導體制造工藝。它用於去除半導體基板上不需要的裸露特征的過程中。具體來說，PM 11020是一種精確蝕刻工具，在使用錫、鋁、矽、磷和其他金屬等蝕刻溶液和晶片時提供優越的產量和吞吐量。DIONEX PM 11020是一種精密蝕刻設備，由50 mtor的能力蝕刻室、低電感電源、標準的遙控室門鎖、真空總線閥等蝕刻組成。設計方便安裝、操作和維護。PM 11020可快速安裝，並具有具有安全隔離裝置和自動室門鎖的專利集成安全系統，可快速精確蝕刻。為確保精度,DIONEX PM 11020采用可調節的氣體流量、高性能的蓋子釋放閥和快速更換的氣體頭。這樣可以確保設備具有精確的氣流，並且可以快速釋放蓋子，以便快速更換晶圓。此外，PM 11020的多步冷卻特性確保了對蝕刻過程溫度和蝕刻室內氧氣濃度的嚴格控制。此外,DIONEX PM 11020還具有一個獨立的超壓保護功能,在此功能中,機器會因超壓問題而關閉。這是為了確保一旦壓力大於額定壓力,刀具不會發生故障。汙染監測功能進一步提高了安全性，防止蝕刻和晶片暴露於室內的外部汙染和氧化物質。此外，該資產還具有便攜式控制器，能夠更有效、靈活地操作模型。這個控制器包括一個直觀的人機界面（HMI），可以讓用戶輕松地監控、控制和調整操作參數。它還具有故障檢測和警報診斷功能,並帶有直觀的LED指示燈和聲音警告,可確保設備正常工作和正常工作。PM 11020還具有支持SPC的集成數據采集系統,用戶可以監控流程性能並存儲數據以供將來參考。此模塊還允許存儲和分析蝕刻速率歷史記錄以進行統計過程控制（SPC）。總而言之，DIONEX PM 11020是一個健壯可靠的蝕刻器/asher單元，具有許多積極的特點。憑借其安全特性、精確的蝕刻和晶圓交換工藝,以及快速的維護要求,這臺機器使客戶能夠在確保安全高效的過程的同時實現優質的蝕刻效果。